金剛石切削技術(shù)同時加工出該基準(zhǔn)環(huán)和
光學(xué)通光孔徑
與基準(zhǔn)反射鏡一樣,在
測量或者/和探頭光路中使用輔助光學(xué)
元件時,該
輔助元件的質(zhì)量不能對測量有大的影響,或者通過標(biāo)定消除其影響。大多數(shù)實
際情況中,使用經(jīng)過標(biāo)定的球面反射鏡。此外,最先進的干涉圖分析軟件的確
能從側(cè)量數(shù)據(jù)中減除被存儲的波前,利用該特性的一種方法是將經(jīng)過標(biāo)定的標(biāo)
準(zhǔn)物體放置在待側(cè)系統(tǒng)的位置,并完成側(cè)量,從而確定并減除該系統(tǒng)特征的
影響。
使用干涉儀測量,除了定位條紋外,正確校準(zhǔn)待測樣品是另一個非常重要的
問題。在所有分幅干涉儀中,樣品都是干涉儀的一部分,所以,樣品校準(zhǔn)對側(cè)量
精度起著重要作用,為此,應(yīng)充分利用注塑模壓成型光學(xué)元件的優(yōu)點:很容易設(shè)
計產(chǎn)品基準(zhǔn)標(biāo)志和對準(zhǔn)標(biāo)志。下面例子中,在透鏡通光孔徑附近設(shè)置一個平面基
準(zhǔn)環(huán),采用金剛石切削技術(shù)同時加工出該基準(zhǔn)環(huán)和光學(xué)通光孔徑,因此,基準(zhǔn)環(huán)
與光學(xué)通光孔徑之間具有精確的相互關(guān)系.校準(zhǔn)待測樣品使透鏡基準(zhǔn)環(huán)相對于人
射光束的傾斜量降至最小。