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晶圓目視檢測用大平臺金相顯微鏡-上海光學(xué)儀器廠

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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晶圓目視檢測用大平臺金相顯微鏡-上海光學(xué)儀器廠

晶圓定位及瑕疵檢測系統(tǒng)專為晶圓目視檢測而設(shè)計，定位軟體、
顯微鏡、自動載物臺，適用于4/6/8吋晶圓即時瑕疵檢測。

提供預(yù)覽影像，操作者可在螢?zāi)簧霞磿r檢測Wafer上的每一個Die，
并可針對Die的每種狀況進行定義，于Wafer Map上以顏色呈現(xiàn)。
即時觀測影像可拍照存檔，存檔名稱可自行定義，如Die的位置與瑕疵定義等。



功能特點


‧讀取Wafer Map文字檔相關(guān)資訊，即時產(chǎn)生對應(yīng)Wafer Map。
‧手動三點定位，定位簡易快速，誤差小，可修正Wafer實際角度與位置偏差。
‧可自定義多點檢測位置，如已公式計算多點檢測位置，或自行設(shè)定固定檢測位置。
‧可自行定義Defect類別，Defect分類可以顏色呈現(xiàn)。
‧可依每個Die的檢測狀況，選擇Defect進行標(biāo)記，并以顏色于Wafer Map呈現(xiàn)，方便檢視與分辨，檢測結(jié)果可記錄于資料庫或Wafer Map。
‧可將瑕疵狀況進行拍照存檔，存檔名稱可自行定義，如Die的位置加上瑕疵定義。
‧可根據(jù)客戶需求，整合客戶端資料庫，將分析與檢測結(jié)果存入資料庫。



‧提供多組比例尺建立，使用者可根據(jù)顯微鏡物鏡建立對應(yīng)比例尺，并可于影像上標(biāo)注比例尺。
‧提供量測直線、角度、面積等多種量測工具。
‧提供進階量測功能，如點到線距離、點到圓距離、線到圓距離等。
‧提供影像縮放功能、方便觀察檢測。
‧即時觀測影像畫面，減少檢測者于顯微鏡上觀測的疲勞度，并可顯示十字線，方便檢測與對位。
‧影像拍照存檔成多種格式，如Tiff、JPEG等。
‧量測結(jié)果可匯出至文字檔或Excel報表。
‧提供Time Lapse影像拍照功能，可設(shè)定拍照建隔時間與張數(shù)。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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