VGA(視頻圖形適配器)芯片到幾兆像素芯片的
顯微鏡相機(jī)
觀察到干涉圖。然而,為了形成一個(gè)有意義的
測量,要求干涉圖形成在待測樣
片上,所以,除形成干涉圖外,還應(yīng)將待測系統(tǒng)出瞳的像形成在探測器上,
并確定干涉條紋的位置。只有正確地定位條紋,才能正確地解釋千涉圖。實(shí)際上,
待測系統(tǒng)出瞳處的相位成像在探測器上,并被編碼在干涉圖中,當(dāng)準(zhǔn)備根據(jù)擦痕建造
干涉圖時(shí),一定要牢記這一點(diǎn)。大部分市售干涉儀都經(jīng)過認(rèn)真設(shè)計(jì),能夠正確獲
得待測樣品的像。新型干涉儀使用普通的CCD相機(jī)作為探測器,具有低噪聲、
高靈敏度、高抽樣率和快速數(shù)據(jù)采集的優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)干涉儀的不同類型和特點(diǎn),
從VGA(視頻圖形適配器)芯片到幾兆像素芯片的相機(jī)都有。利用現(xiàn)代化軟件和
各種類型的相移算法.可以對干涉圖進(jìn)行解釋和分析。一且根據(jù)原始千涉數(shù)
據(jù)再現(xiàn)波前,就會(huì)有幾種數(shù)據(jù)顯示選項(xiàng),這完全取決于所使用的干涉圖分析包。
對所有干涉圖分析軟件,下面是標(biāo)準(zhǔn)的分析項(xiàng):RMS(均方根)波前誤差、PV
(波峰一波谷)波前誤差、波前截面圖((2D輪廓)、3D波前圖和澤尼克(Zernike)
系數(shù)分析。在測量具體
光學(xué)元件質(zhì)從時(shí),所有這些項(xiàng)都有其特定含義。