光波干涉測量時(shí),光源最好采用單色光,呈現(xiàn)明暗相間
的干涉條紋。而若光源為白色光,則呈現(xiàn)從紫到暗紅的彩色
干涉條紋,通常根據(jù)紅色條紋來計(jì)數(shù)。
顯微鏡干涉儀
表面粗糙度干涉儀的光學(xué)系統(tǒng)和目鏡視野中的圖象。
從左側(cè)光源Q發(fā)出的光,經(jīng)濾色鏡FL和透鏡CL,
會聚后,照亮針孔板,形成點(diǎn)光源,并成為平行光束。此光
束由半透鏡SM分割,一部分投向下方的被測表面s,另一
部分投向右側(cè)參考鏡RM。這兩路光線反射后又在半透鏡處
相遇,由于參考鏡對光路并非完全垂直,有稍稍傾斜,因麗.
存在光程差,于是出現(xiàn)干涉現(xiàn)象,并合流后一起射向上方.
進(jìn)入物鏡后,又由半透鏡分割為兩部分,既可在目鏡中觀測,
也可直接照相.若光源用自光時(shí),在目鏡中所見為彩色條紋,
可以看出表面粗糙度的趨勢;若通過濾色鏡采用單色光時(shí),
這種液體機(jī)構(gòu)和機(jī)械結(jié)構(gòu)的儀表不同,主要測量誤差的
來源不在于游隙或摩擦,而在于測量時(shí)受溫度分布變化的
影響。
b)氣泡管水平儀
機(jī)械工業(yè)中作精密測量用的水平儀,其刻度不標(biāo)成角
秒,而用每米長度上的高度差來表示.高級的氣泡管,其內(nèi)
壁經(jīng)研磨而具有曲率,這種氣泡管比烘焙彎曲而成的氣泡管
精度離。
在水平儀金屬外殼的一端,通常設(shè)有高低調(diào)節(jié)螺絲(零
位調(diào)節(jié)裝置),可借以調(diào)節(jié)氣泡相對于刻度的位置.高精度一
氣泡沿一個方向移動逐格檢查后,再反向移動,同樣檢
查,求出相鄰讀數(shù)差和刻度兩端示值誤差的平均值。為了防
止試驗(yàn)器測微螺桿空程引起讀數(shù)誤差,在氣泡向左移的測量
過程中,手輪應(yīng)始終正向旋轉(zhuǎn);在氣泡向右移的測量過程中,
手輪應(yīng)始終反向旋轉(zhuǎn)。如在測量中途發(fā)生手輪回轉(zhuǎn)的情況,
應(yīng)將記錄作廢重測。