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微電子器件細小微粒測量多功能金相顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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微電子器件細小微粒測量多功能金相顯微鏡


工藝用水凈化

    水是微電子器件生產(chǎn)中使用最廣泛的原材料之一。在
各種制造工藝和有關(guān)操作中，水既可用作介質(zhì)，又可用作
載色劑。除了一般用途外（鍋爐供水、空調(diào)等等），工藝
用水在制造工藝方面，間接用作冷卻介質(zhì)，直接用作溶液、
電解液、清洗、蝕刻和沖洗。在上述情況下，要將污染控
制在某一限度內(nèi)，必須采用一定的水處理方法。只有將污
染控制在一定范圍內(nèi)，水質(zhì)才能滿足制造工藝的要求，這
種水才能直接用于加工過程，這是十分關(guān)鍵的問題、本章
提出了直接用于微電子生產(chǎn)過程的高純水的標(biāo)準(zhǔn)，在微電
子生產(chǎn)過程中污染控制是極其重要的。本章還闡貯了水處
理方法、處理依據(jù)，以及由此而得到的益處。

    凝結(jié)為了去掉水內(nèi)很細小的微粒，人們必須采用某些
形式的凝結(jié)與絮凝j 凝結(jié)是引進帶有負電荷的物質(zhì)（微粒），
儀這些細小微粒上的電荷中和。如果把pH控制在5.5 到8.0
，而且又有強剛離子的時候，例如存有氯化物或硫化物的條
件下，凝結(jié)是最有效的。

    在凝結(jié)過程中常用鋁鹽或鐵鹽，例如明礬（硫酸鋁）
或硫酸鐵。它們形成絮凝物氫氧化鋁或氫氧化鐵。這些氫
氧化物沉淀卅正電，它們使水內(nèi)的硫酸根或氯根的負電荷
中和，從而使細小顆粒凝結(jié)成多孔的膠狀沉淀物。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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