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顯微鏡液體計(jì)數(shù)器檢測(cè)的最小粒徑一般為2微米

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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顯微鏡液體計(jì)數(shù)器檢測(cè)的最小粒徑一般為2微米

液體中的粒子測(cè)量

    很多半導(dǎo)體制造工藝都和液體，例如水、光致抗蝕劑混合液
、溶劑、酸以及其它化學(xué)制品有關(guān)。一般說(shuō)，這種液體應(yīng)盡可能
沒(méi)有粒子物質(zhì)，正如空氣和其它氣體一樣，必須測(cè)量液體中的粒
子含量，以對(duì)過(guò)濾裝置和過(guò)濾技術(shù)進(jìn)行性能檢查。  由于液體的
粘性比氣體大，因此，從氣體沉淀出來(lái)的，又大又密的粒子可以
在液體中懸浮相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。液體過(guò)濾后，要保持沒(méi)有粒子，這
是十分困難的，因?yàn)榱鬟^(guò)容壁或長(zhǎng)管所散落的粒子，它的粘性阻
力導(dǎo)致氣流去除粒子的力比存在的力要大得多。

    光散射與光吸收粒子計(jì)數(shù)器

散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)液體也是有用的。液體粒子計(jì)數(shù)器的光學(xué)系統(tǒng)
有一個(gè)透明窗，以便讓光通過(guò)液體。  由光電檢測(cè)器檢出液體粒
子散射光，這同用氣體粒子計(jì)數(shù)器檢出一樣。然而，液體粒子計(jì)
數(shù)器的噪音電平比氣體粒子計(jì)數(shù)器的噪音電平大，這是因?yàn)楣馐?/div>
與傳感器窗以及液體介質(zhì)相互作用的緣故。因此用液體計(jì)數(shù)器檢
測(cè)的最小粒徑一般為2微米。

    因?yàn)閹в懈鞣N色彩、折射率、粘性和蒸發(fā)壓力的液體可用光
散射粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試，所以氣體粒子計(jì)數(shù)器就不存在測(cè)量的局限
性。液體的空穴現(xiàn)象、氣泡形成、污物或在光學(xué)表面形成的氣泡
以及粒子的光吸收都是在液體粒子計(jì)數(shù)中出現(xiàn)的一些問(wèn)題。如果
采用粒子的光吸收特性作為測(cè)量粒徑的機(jī)理(當(dāng)然這與米埃理論
完全不同)，那么，這種局限性也就沒(méi)有多大意義了。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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