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微器件的尺寸微裝配,光學(xué)傳感儀器定制廠商

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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微器件的尺寸微裝配,光學(xué)傳感儀器定制廠商

視覺(jué)一力反饋微裝配方法

    微器件的尺寸效應(yīng)使得器件的重力影響下降，這種情況不僅影響器件的定位、抓取和
釋放，也影響力的反饋。由于器件的尺寸很小，很容易損壞，而靜電力、表面張力和范德化
力非常小，并且模型化困難，所以要完成器件的裝配，必須用特殊的傳感器進(jìn)行力的反饋
控制。另一個(gè)方面是，對(duì)于視覺(jué)傳感器只能用于裝配器件未接觸時(shí)的運(yùn)動(dòng)控制，當(dāng)器件接
觸時(shí)，視覺(jué)傳感器并不能起作用，所以在器件接觸時(shí)，必須采用力傳感器控制裝配。使用
力傳感器有兩個(gè)目的:其一，防止脆弱的微器件在相互接觸時(shí)損壞;其二，在力的控制下完
成精確的裝配。

   用視覺(jué)/力反饋混合控制的微裝配方法。第一種方法為使用光學(xué)傳感
器控制裝配力的大小，第二種方法為利用傳統(tǒng)的力傳感器控制裝配力的大小。
    對(duì)微力的反饋，光學(xué)技術(shù)有很大的優(yōu)勢(shì)，這是因?yàn)檫@類傳感器并不使用電磁理論，具
有很好的抗干擾性，并且分辨率高，大部分的原子力顯微鏡都使用該技術(shù)，這也表明光束
的偏轉(zhuǎn)具有很好的特性。該技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)是具有非接觸性。圖4一30是利用光學(xué)偏轉(zhuǎn)
方法測(cè)量微力的原理

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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