反射幾何也可應用于形貌照相,如果被檢驗的是表面或似外
延層那樣的薄層,則最為適宜.已經(jīng)采用了類似于透射形貌照相
中所用的某些改進辦法,例如,雙晶單色器以及使用選擇擋板來限
定觀察截面等咖·翎.白色輻射和大截面的x射線束也能用來拍
攝形貌照相圖.用這種方法拍的斑點也是大的,并將顯示出結
晶學細節(jié).這種方法特別適宜于對可能包含多晶區(qū)的晶片快速地
作形貌圖
可選用不同的衍射平面來拍攝形貌照相,需要考慮的是哪個
平面能顯示要觀察的特定位錯,而這種位錯可用它們的方向和柏
格斯矢量來表征
已經(jīng)制作了各種專用的照相機.例如,已用一個光導攝象管
來代替底片,便得能夠立刻觀看圖象.采用高溫試樣室,就能
檢側位錯的運動,事實上能夠原位檢驗高溫工藝過程的有害影
響.有關設備、注意事項和說明等等進一步的細述可從參考
文獻