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用干涉顯微鏡只能檢查加工痕跡相互平行的表面

信息分類(lèi)：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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用干涉顯微鏡只能檢查加工痕跡相互平行的表面

用干涉顯微鏡只能檢查加工痕跡相互平行的表面，在加工痕
跡方向雜亂的情況下，評(píng)判干涉圖樣比較困難。因此，可用以檢
查表面痕跡方向雜亂的顯微干涉輪廓儀具有更廣泛應(yīng)用的可能
性。在干涉顯微鏡的視場(chǎng)中，只能看到被檢表面的--tJ,塊面積，
顯微干涉輪廓儀與此不同，它可以給出沿細(xì)長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)，即狹縫像區(qū)
域內(nèi)的表面輪廓。利用圓柱透鏡或光譜棱鏡，把照明狹縫的第二
次像在目鏡視場(chǎng)中放大成矩形。
顯微干涉輪廓儀的基本缺點(diǎn)，是視場(chǎng)照度明顯地比干涉顯微
鏡低得多，因?yàn)樗荒苡迷趦蓚�(gè)方向都擴(kuò)展的光源，而采用窄的發(fā)
光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調(diào)整變得
復(fù)雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規(guī)
則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。
    林尼克工型顯微干涉輪廓儀做成像生物顯微鏡上緊湊的附
件。但它未能得到推廣應(yīng)用，因?yàn)槲镧R的孔徑和放大倍數(shù)都不夠
大，不能正確評(píng)定被檢表面加工痕跡的深度。另外，儀器結(jié)構(gòu)不
能保證干涉圖樣有足夠的穩(wěn)定度

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