材料樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和成分等信息分析電子
顯微鏡
當(dāng)材料樣品厚度小于入射電子的有效穿透深度時(shí),還會(huì)有相
當(dāng)數(shù)量的電子透過(guò)薄樣品而成為透射電子,透射電子顯微鏡(
(tunnel- ing electron microscope ,TEM )就是利用這種電
子工作的。
可以利用直接透射電子獲得樣品的明場(chǎng)透射電子顯微圖像
(bright field TEM image)、或聚焦得到反映樣品品體結(jié)構(gòu)信
息的電子衍射圖樣(elec- tron diffraction patten ),也可
利用彈性散射電子獲得樣nnn 的暗場(chǎng)透射電子顯微圖像(dark field
TEM image ),而利用透射非彈性散射電子包含的能量損失信息
可以檢測(cè)微區(qū)樣品的化學(xué)組分。
因此,材料樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和成分等信息也可在現(xiàn)代透射
電鏡中同時(shí)獲得。透射電鏡比掃描電鏡分辨率和放大倍數(shù)高,不
過(guò),其操作較復(fù)雜,樣品制備也繁復(fù)。