電子槍射出的電子束
在這里對(duì)于掃描電子
顯微鏡的組成原理,則就是由電子
槍、聚光鏡、第二聚光鏡、物鏡、物鏡光柵、試樣、檢
測器、掃描線圈。
而顯微觀察時(shí)則就是由掃描用波形發(fā)生器電子槍射出的
電子束,放大器同時(shí)在陰極射線管上面通常照相機(jī)進(jìn)行
照相。
因此我們可以說電子槍射出的電子束,則就是一個(gè)電子
束聚光鏡匯聚而成后,再經(jīng)過物鏡聚焦形成一個(gè)一束很
細(xì)的電子束。
這樣一個(gè)在聚光鏡與物鏡間就需要一組掃描線圈,來進(jìn)
行控制電子探針在樣品標(biāo)本表面上的微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行掃
描,引起一系列二次電子與背景電子發(fā)射。