6JA型干涉顯微鏡的工作原理簡介-光學儀器常識
信息分類：生命科學資訊 作者:YIYI發(fā)布
干涉顯微鏡的工作原理與結構
6JA型干涉顯微鏡的工作原理：光源經(jīng)聚光鏡、干涉濾
光片，再經(jīng)另一聚光鏡，投射到反光鏡上，隨后通過孔徑光闌和視
場光闌，經(jīng)照明聚光鏡投射到分光板把投射在它上面的光束分成
兩部分，一部分透過，一部分反射。從分光板透過的光束，經(jīng)補償
板被物鏡會聚到其焦面處的被測表面(即工件測量面)上。最后被
該表面反射，重新通過物鏡和補償板，到分光板。
另一部分光束從分光板反射到物鏡，再到參考鏡(即標準鏡面
上)，由標準鏡面反射后，重新由物鏡到分光板。
兩部分返回的光束相遇后發(fā)生干涉，在無窮遠處形成鮮明的
干涉帶。調(diào)節(jié)可調(diào)反光鏡，將它移到目鏡的焦平面上。于是，通過
目鏡就能觀察剄干涉帶及被測表面的影象。
儀器照相時，可以把反光鏡從光路中移出，光線就直接在照相
反光鏡上反射后射向物鏡和照相底片上。
兩組物鏡是完全一致的物鏡。
本文由出自上海光學儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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