傳統(tǒng)三次元量測(cè)儀因具備高量測(cè)彈性與復(fù)雜幾何特征的量測(cè)能力,成為航太、汽車與模具產(chǎn)業(yè)的主要檢測(cè)設(shè)備,
但受限于量測(cè)接觸力與最小探針尺寸,面對(duì)精微模具與微
元件等三維微結(jié)構(gòu)特征之量測(cè)需求,往往顯得力有未逮。
光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)雖擁有細(xì)微特征的量測(cè)能力,但主要是屬于表面量測(cè)應(yīng)用,對(duì)于高深寬比、
微內(nèi)孔結(jié)構(gòu)或是透明材質(zhì)的待測(cè)工件,使用上仍有諸多限制。
三次元量測(cè)切入主題,解析應(yīng)用于精微模具與元件量測(cè)之微探針量測(cè)系統(tǒng)與其工作原理,
同時(shí)介紹世界現(xiàn)今小型三次元量測(cè)儀的發(fā)展現(xiàn)況,
對(duì)于微探針量測(cè)系統(tǒng)能有初步的認(rèn)識(shí),而最后以金屬中心投入微探針量測(cè)技術(shù)開發(fā)