末級透鏡的作用
對于末級透鏡來說則就是物鏡,末級透鏡的功能除了會聚
光功能外,還有就是可以使得電子束聚焦于樣品標(biāo)本表面
上的一個作用。
因此通常情況下使用末級透鏡時,則出于功能的特殊要求
以外,則末級透鏡的結(jié)構(gòu)同樣是非常特殊的。
這樣一來我們可以說末級透鏡的結(jié)構(gòu)特點則有三個方面,
則就是末級透鏡內(nèi)腔有足夠的空間進行容納掃描線圈與消
像散器組件。
同時還有就是樣品標(biāo)本必須放在末級透鏡焦點附近,以及
最后末級透鏡進行一個有效的收集二次電子。