顯影工藝-顯影液的溫度控制精度為±0.1℃
浸泡法顯影工藝一般用手動控制,因此重復(fù)性和均勻性不夠
理想。從生產(chǎn)量和成本的角度來分析,機(jī)械化浸泡顯影工藝比較
理想。另一種控制精度更高的顯影工藝是自動噴射顯影,所用的
設(shè)備本章已討論過。用自動化系統(tǒng)顯影版子之前,通常要確定最
佳顯影條件,包括時間、溫度和濃度。當(dāng)然還可以用低顯影速率
的顯影劑,延長顯影時間來達(dá)到高水平的控扭。在機(jī)械化浸泡顯
影工藝中,顯影液的溫度控制精度為±0.1℃。只要能精確地控
制好樣品槽內(nèi)顯影液的變化情況,及時修正,那么這種顯影方法
的穩(wěn)定性比噴射法和攪拌法顯影工藝都好。如果提高技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和
改進(jìn)噴射顯影設(shè)備的溫度控制精度,用循環(huán)的精密數(shù)字定時器和
低壓噴嘴能獲得穩(wěn)定性更高的顯影工藝,而且可以完全排除人為
的影響。二顯聲設(shè)備中,一顯影速率監(jiān)控裝m和激光終真檢查裝置的
使用將便豆鮮控制神庫提高到一個新的水平