玻璃基板熔融爐加工樣品檢測金相顯微鏡
信息分類：生命科學資訊 作者:YIYI發(fā)布
玻璃基板熔融爐加工樣品檢測金相顯微鏡
對于制造高質量的掩膜版玻璃基板來說，對熔融爐工作參數(shù)
的控制是十分關鍵的。無論是原料還是熔融爐中的雜質都應受到
嚴格控制。在生產過程中，鈉一類的雜質是很容易混入的，因此
必須嚴格控制操作人員和操作設備，以防納和其他雜質混入熔融
爐中。
假定玻璃的成分是均勻的，一那么我們可以說玻璃已滿足了成
分要求。盡管如此，我們仍可在玻瑞中看到一些不規(guī)則的缺陷，
例如氣泡、.粒子或其他結構不均勻性帶來的缺陷。
在玻璃生產過程中，氣體會進入熔態(tài)融的玻璃中，并一直留
在玻璃板內形成氣泡。存在氣泡的區(qū)域的折射率不同，假如這些
區(qū)域不被鉻圖形理蓋的話，就會影響到圓片上的圖形成像。
在玻璃中還可能存在未溶解或未熔融的原料玻璃。在熔融過
程中，偶然也會由其他因素造成玻瑞基板中的其他不均勻結構，
這些不均勻性同樣也會造成光學崎變，從而破壞光刻均勻性。.
檢查玻璃表面質量是檢測掩膜版玻璃基板缺陷的另一種方
法。玻璃體內的缺陷，假如接近表面的話，常常可以通排研鷹和
拋光方法來清除，只要研磨拋光后的基板厚度仍能滿足要求。氣
泡、粒子和玻璃體內其他的不規(guī)則缺陷就常常可以通過這種方法
去除。正如玻璃體內的缺陷可以去除一樣，玻璃表面的缺陷也可
以通過清洗或拋光來去除，
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