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利用靜電透鏡可以有那些應(yīng)用-分辨率約20nm

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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利用靜電透鏡可以有那些應(yīng)用-分辨率約20nm

    第二代光電發(fā)射電子顯微鏡(PEEA12)是利用靜電透鏡和不帶失真矯正
的常規(guī)儀器，由Howard-Padmor。設(shè)計(jì)，其工作原理，光激發(fā)的電子從樣
品逸出被15~20kV的高壓加速.物鏡和傳輸透鏡在一個背聚焦的平面狹縫后面產(chǎn)
生一個中間像，這個像被兩個投影透鏡放大.電子透鏡的空間分辨率和透過性
(效率)可以通過位于15~50mm的背聚焦平面狹縫來改變.用光纖禍合到磷光劑上的
CCD探測電一光圖像，其空間分辨率約20nm. PEEM2接受樣品的寬度可以達(dá)
到15mm，并且可以與四個寬度在12μm-2mm可變的狹縫中的任何一個匹配，狹
縫越窄分辨率越高，但是在分辨率與電子透過濾之間有一個平衡.

    在光電發(fā)射電子顯微鏡中，照亮樣品的x射線光源點(diǎn)比顯微鏡的視場大，
因此分辨率只受限于聚焦系統(tǒng).PEEMI2的四個透鏡可以將電子圖像聚焦成不同
的大小.盡管CCD可以在1秒鐘內(nèi)抓拍四副圖像，但實(shí)驗(yàn)過程中典型的曝光時間
是幾秒鐘.實(shí)際的PEEN12裝置

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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