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塑料/硅邊界,塑料/空氣間隙邊界檢測體視顯微鏡

信息分類:生命科學資訊    作者:YIYI發(fā)布 

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塑料/硅邊界,塑料/空氣間隙邊界檢測體視顯微鏡

    聚焦聲波換能器在有限的深度范圍內可以獲得準確的數據。超出這個范圍,由
于聲波散焦,反射波大小會明顯變小。另外,反射波的形狀也會扭曲.因為角射線
不會在正確的時間內全部返回換能器。因此,極性信息可能無效。

    樣品的聲阻極性探測(AlPD)可以對內部界面的特性進行定量的確定。例如,
塑料/硅邊界(枯接良好)和塑料/空氣間隙邊界(粘接不良)的反射波幅度是相近
的.但兩者相位相反。這就使操作者能夠確定一種材料邊界的另外一邊是“更硬”
還是“更軟”的材料(嚴格來講,聲阻不用硬或軟形容,但這個類比在某些情況下
是恰當的)。同時包含幅度和極性信息的標準圖像顯示技術,在集成電路缺陷探
淵中有很重要的地位。

本文由出自上海光學儀器廠,轉載請注明