掃描電子顯微鏡,是用聚得非常細的電子探針束,在試
樣表面上逐點掃描,并把照射位置上發(fā)射出來的二次電子
、反射電子、吸收電子、透鏡電子、光子及X射線等信號檢
測出來加以放大,以此信號調(diào)節(jié)與電子探針同步掃描的陰
極射線管上的亮度,從而在陰極射線管的熒光屏上得到試
樣的放大像,這樣可不必制備復(fù)型,而直接觀察試樣表面
,其景深很大(立體咸極強),放大倍數(shù)可以從低倍支高
倍(二十幾倍到幾十萬倍)連續(xù)變化,利用其X射線分析裝
置可進行電子探針微區(qū)成分分析。現(xiàn)有掃描電鏡的分辨率
低于透射式電鏡,一般約為200埃,好一些的可達200埃。