目前已應(yīng)用到顆粒物中的微量分析技術(shù)包括:用于顆粒物微觀形貌研究分析
的電子顯微鏡技術(shù)、用于微區(qū)成分分析的微探針技術(shù)和飛行時間質(zhì)譜技術(shù)等。
其中電子顯微鏡技術(shù)包括掃描電子顯微鏡技術(shù)(SEM)、透射電子顯微鏡技術(shù)
(TEM)和原子力顯微鏡((atomic force microscope, AFM);
微探針技術(shù)包括掃描質(zhì)子微探針分析(SPM)、質(zhì)子微探針(PM)、掃描質(zhì)子微探針
(SPM)、核子微探針(NM)、掃描核子微探針(SNM)等;
飛行時間質(zhì)譜除了前面介紹的飛行時間質(zhì)譜(TOF-MS),
還包括飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF- SIMS)等。