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微小元件的加工及成型輪廓測(cè)量工具顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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微小元件的加工及成型輪廓測(cè)量工具顯微鏡

微小元件的加工及成型，主要原因是微能量放電加工法具有
下列特性：
1. 非接觸式加工：由于電極與工件之間并不直接接觸，存在有
5-50μm 的極間間隙，在加工時(shí)對(duì)工件所產(chǎn)生的作用力(爆壓力)
非常小，約數(shù)牛頓-數(shù)十牛頓(N)[5]，因此沒有切削力、機(jī)械應(yīng)力
之困擾，加工時(shí)比較不受材料機(jī)械性質(zhì)的限制。放電加工過程中
所形成之放電柱內(nèi)的溫度高達(dá)幾千度，因此對(duì)難切削材料更容易
發(fā)揮其優(yōu)異的加工特性。
2. 加工精度高：由于是微能量加工，加上放電點(diǎn)的面積小
(次微米以下的等級(jí))，因此加工量很小，加工精度自然就會(huì)比較高，
所以極適合微細(xì)加工。
3. 加工尺寸�。何⒃淖畲筇厣礊樾〕叽绲募庸�，因此加
工機(jī)的行程不需要太大。
4. 不受材料形狀的限制：由于加工時(shí)沒有切削力量產(chǎn)生，所以
對(duì)于薄板工件也非常容易加工。
5. 加工設(shè)備便宜，維護(hù)容易。
由于放電加工具有上述優(yōu)異的特性，因此在各生產(chǎn)制造領(lǐng)域逐漸
受到重視，目前已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各類模具的制造、各種難加工材料
的加工(超硬合金、導(dǎo)電陶瓷、鈦合金等)、微細(xì)精密零件的加工(微閥、
微細(xì)紡口、發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴等)及復(fù)雜形狀的成型加工
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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