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表面品質(zhì)孔壁觀察分析測(cè)量-電解拋光實(shí)驗(yàn)顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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表面品質(zhì)孔壁觀察分析測(cè)量-電解拋光實(shí)驗(yàn)顯微鏡

四種研磨精修技術(shù)，分別為螺旋研磨法、抖動(dòng)研磨
法、超音波振動(dòng)研磨法及電解拋光法，針對(duì)微細(xì)放電后之微孔或異形微孔，
進(jìn)行線上的研磨精修加工，改善微孔的孔壁表面品質(zhì)。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，以精修微細(xì)圓孔為例，采用螺旋電極研磨法或高頻抖動(dòng)研磨
加工法，孔壁表面均可獲得顯著的研磨效果，表面粗糙度值由研磨前之 2.11 Rmax 
降低至 0.85 Rmax，在研磨加工時(shí)間上的比較，螺旋電極研磨法約需 120 分鐘；
利用此加工法搭配超音波振動(dòng)，則加工時(shí)間
可降至 30 分鐘，而采用高頻抖動(dòng)研磨法僅需 15 分鐘。針對(duì)異形微孔；
采用超音波研磨法或電解拋光法，由 AFM 量測(cè)表面粗度值顯示，孔
壁表面粗度值 Rmax 由 0.957μm(Ra 0.11μm) 降至 0.31μm
(Ra0.015μm)；再由 SEM 的觀察顯示，孔璧表面甚為光平。在研磨加工
時(shí)間上的比較，超音波振動(dòng)研磨法約需 45 分鐘，而電解拋光法僅需5 分鐘，
即可得到光滑平整的微孔孔壁。
關(guān)鍵字：微放電加工、線放電研磨、抖動(dòng)研磨、電解拋光、微細(xì)孔
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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