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礦物質(zhì)樣品的表面特性測定分析專業(yè)偏光顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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礦物質(zhì)樣品的表面特性測定分析專業(yè)偏光顯微鏡

使用了激光直寫玻片當(dāng)作光罩的基底，發(fā)展出只需
一次的曝光、顯影的程序，即可讓光阻產(chǎn)生不同厚度之灰階光罩技術(shù)。
傳統(tǒng)上，繞射式光學(xué)元件之制作，是采用二元多光罩與蝕刻制程
的方式﹔而灰階光罩的技術(shù)，可以使得制作程序大幅的簡化，并且可
以減少制作上的誤差。

量測了不同類型的激光直寫玻片(type1、type2、GS11)
之穿透率譜線，以了解不同波長的光對玻片之吸收情形。并測試了不
同顯微鏡物鏡之聚焦效果，最后選用了日本 Olympus 系列的物鏡。
再以物鏡(NA=0.1、0.25)將激光(波長 442nm)光束聚焦，寫入 type1
玻片，并控制寫入的光強(qiáng)，可將玻片之穿透率由原先的 0.145 變化至
0.64，制作出周期為 9μm 之三角形光柵的光罩，以及周期為 10μm 之
閃耀式光柵的光罩。

與中央大學(xué)機(jī)械工程研究所合作，建立了一套寫入系統(tǒng)，可以自
動化的制作光罩。以波長 532nm 之激光束以 NA=0.4 之物鏡聚焦寫
入 GS11 玻片。將玻片之穿透率由 0.08 變化至 0.5 左右。也是成功的
做出了閃耀式光柵之灰階光罩，且利用微影制程的技術(shù)做出了周期為
46μm(Q=0.9)與 15μm(Q=0.83)之閃耀式光柵。并以光學(xué)顯微鏡，掃描
式電子顯微鏡，原子力顯微鏡來觀測元件，加以印證灰階光罩技術(shù)的成果
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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