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專業(yè)圖像量測顯微鏡觀察微小的芯片影像結(jié)構(gòu)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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專業(yè)圖像量測顯微鏡觀察微小的芯片影像結(jié)構(gòu)
探討單次涂布與兩次涂布中各種精度問題，針對造成誤差的原因進(jìn)行分析與檢討，
并驗(yàn)證兩次涂布中軟件補(bǔ)正的成效。

實(shí)驗(yàn)中單次涂布與兩次涂布均規(guī)劃執(zhí)行，由單次涂布之實(shí)驗(yàn)了解涂
布機(jī)臺之誤差與軟件座標(biāo)補(bǔ)正之功效，再由兩次涂布的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證軟件補(bǔ)正
方法的正確性。此外，機(jī)臺補(bǔ)正輸入?yún)?shù)與軟件座標(biāo)系統(tǒng)不同，其轉(zhuǎn)換方
法的正確性也藉由實(shí)驗(yàn)進(jìn)行測試。
芯片影像采集后，需經(jīng)由軟件運(yùn)算補(bǔ)償數(shù)據(jù)，并轉(zhuǎn)換成適當(dāng)座標(biāo)系后
輸入機(jī)臺進(jìn)行補(bǔ)償，這些步驟基本上是環(huán)環(huán)相扣的，為擬清各階段誤差的
情況，在實(shí)驗(yàn)規(guī)劃上需特別小心，以免因多項誤差同時發(fā)生導(dǎo)致無法研判
誤差成因。此外，同一實(shí)驗(yàn)均重覆執(zhí)行多次，有時是使用相同芯片重覆實(shí)
驗(yàn)，有時則是使用不同芯片執(zhí)行相同步驟，希望藉由統(tǒng)計分析的資料，降
低個別實(shí)驗(yàn)偏差的影響軟件
軟件與補(bǔ)償機(jī)臺座標(biāo)值轉(zhuǎn)換
由于本研究軟件計算芯片誤差補(bǔ)償值與補(bǔ)償機(jī)臺實(shí)際進(jìn)行補(bǔ)償所需要
輸入的座標(biāo)值型式不相同，所以無法直接使用，軟件本身計算的座標(biāo)為 x、
y、θ 型式，而機(jī)臺補(bǔ)償值輸入則為 X、Y1、Y2 型式，兩者之間必須找出一
個關(guān)系式進(jìn)行轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換流程圖，但因?yàn)闊o法對補(bǔ)償機(jī)臺本
身機(jī)構(gòu)運(yùn)作情形進(jìn)行了解，因而必須透過 CCD 影像設(shè)備于機(jī)臺上位置尺
寸之配置圖推算一套轉(zhuǎn)換公式，此轉(zhuǎn)換公式必須經(jīng)過驗(yàn)證后確定
其誤差于合理范圍內(nèi)，其驗(yàn)證方法于第四章將詳細(xì)說明，以下則針對轉(zhuǎn)換
方式詳細(xì)說明
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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