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什么是芯片電極涂布實驗-專業(yè)量測用顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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什么是芯片電極涂布實驗-專業(yè)量測用顯微鏡
芯片電極涂布實驗，其實驗項目與目標(biāo)說明如下：
(1) 軟件運算精度分析：此一實驗的目的在驗證芯片座標(biāo)系設(shè)定的重
現(xiàn)性(Repeatability)，若通過此一驗證，才能確定軟件座標(biāo)系設(shè)定
的正確性，后續(xù)得以進(jìn)一步分析電極涂布之精度。
(2) 電極涂布機臺涂布重現(xiàn)性分析：此一實驗?zāi)康脑诹私怆姌O涂布過
程的重現(xiàn)性，涂布過程其實包含多項誤差之組合，然而由于無法分
析涂布機臺各項作業(yè)，因此僅能測試涂布機臺整體流程之重現(xiàn)性。
(3) 軟件座標(biāo)與涂布機臺座標(biāo)轉(zhuǎn)換誤差分析：涂布機臺補償值輸入?yún)?/div>
數(shù)為 X、Y1、Y2，本研究電極座標(biāo)系與芯片座標(biāo)系之誤差則為 x、y、
θ，需將 x、y、θ 轉(zhuǎn)換為 X、Y1、Y2，以便輸入機臺進(jìn)行補正。此一
實驗?zāi)康臑轵炞C x、y、θ 轉(zhuǎn)換為 X、Y1、Y2 之正確性
(4) 單次電極涂布補正分析：本實驗測試單次涂布座標(biāo)補正之正確
性，若補正方式正確，則以數(shù)片芯片測試，并以前一芯片之誤差為
修正下一芯片之涂布，否則，將分析誤差成因，并尋求改善方法。
(5) 兩次電極涂布補正分析：本實驗測試兩次涂布座標(biāo)補正之正確
性，藉由兩次涂布之電極對位的正確性，驗證誤差補正方法的成效
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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