一般情況下圖像顯示和記錄系統(tǒng)的放大倍數(shù)則是非常大的
,則比
光學(xué)顯微鏡大得多了,而對于圖像顯示和記錄系統(tǒng)
的分辨率來說則是一個(gè)可以影響分辨本領(lǐng)的主要因素。
因此通常情況下圖像顯示和記錄系統(tǒng)的入射電子光束斑的
大小與成像信號則是以二次電子與背散射電子進(jìn)行的。
而對于圖像顯示和記錄系統(tǒng)的掃描的場深來說則主要說的
是在電子光束在樣品標(biāo)本表面上進(jìn)行掃描時(shí)可以獲得一個(gè)
清晰的圖像的深度范圍。
因而在這情況下掃描電子顯微鏡中的一光束微細(xì)的電子光
束則照射在表面粗糙度的樣品標(biāo)本表面上時(shí),則由于電子
光束的一定發(fā)散度除了焦平面外的電子光束則是場深與放
大倍數(shù)以及與孔徑光欄相關(guān)的。