量測(cè)技術(shù)
能達(dá)到原子級(jí)解析度的儀器:
穿透式電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscope : TEM) 與掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope:SPM)。
而場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(Field Emission GunScanning Electron Microscope:FEG SEM)發(fā)展快速。
目前解析度已可達(dá)到0.6nm
利用X光繞射分析計(jì)算顆粒大小,因具快速性與方便性