探針式表面輪廓儀常用于一般微米級結構的量測
信息分類：生命科學資訊 作者:YIYI發(fā)布
探針式表面輪廓儀常用于一般微米級結構的量測
探針式表面輪廓儀常用于一般微米級結構的量測，具有簡單、快速與低成本，不受試片透光性與導電性的影響，
為一簡便的非破壞式幾何檢測，常用于一般成形產(chǎn)品的量測等
研究側光式導光板上38 μm至50 μm的V溝微結構，以表面輪廓儀量測特征高度，來判斷熱壓與射出導光板的成型轉寫率。
但其量測精度受限于探針半徑(R)及外形，當V溝特征為連續(xù)、下凹、底寬太小或探針角度(θ)大于V溝斜面夾角(ζ)時，便無法正確量測特征幾何參數(shù)。
如圖 1所掃瞄出的溝深度與斜面角度與實際有很大的差異。本文探討探針式表面輪廓儀應用于微米V溝特征量測的策略，
分析探針掃瞄軌跡與實際V溝參數(shù)的幾何關系，藉以估測V形溝槽的特征尺寸，并應用于模仁特征檢驗與導光板成型的轉寫率評估
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