掃瞄式電子顯微鏡：用來觀察檢體的表面。制備時(shí)將很薄的黃金、白金或碳覆蓋于檢體表面。用電子束掃瞄時(shí)，有些電子會(huì)被反射，有些會(huì)被彈開（ejected），
這些電子被周圍的電子偵測(cè)器捕捉、計(jì)算，最后電腦再根據(jù)這些數(shù)據(jù)重新計(jì)算出物體表面的三度空間形狀，并轉(zhuǎn)換成影像。