使用背散射電子觀察樣品標本
我們在對背散射電子使用時對樣品標本表面進行觀察,則
發(fā)現(xiàn)背散射電子對樣品標本的原子序數(shù)是十分敏感的。
這就是說當電子束垂直的入射時所產生的通常隨著增加機
單調上升,但是與入射電子的能量的關系不是太大。
這樣一來我們就發(fā)現(xiàn)背散射電子不僅僅能夠反映出樣品標
本表面微區(qū)成分的特征,就是反映出平均原子序數(shù)分布情
況。
同時還可以出形貌特征的一種類似于物理信息,因此對于
背散射電子的信號調制圖像的可定性的反映出樣品的微區(qū)
成分分布與表面形貌。