系統(tǒng)與成像系統(tǒng)位于真空柱中
一般情況下對于成像系統(tǒng)來說則主要是位于真空柱中
,而同時電子束系統(tǒng)則是由電子槍與電子磁透鏡兩個
部分組成的。
而這就是說成像系統(tǒng)主要是一個使用于電子能量與分
布的電子束,而對于電子槍來說則就會產(chǎn)生電子。
在這種情況下電磁透鏡通常包含了匯聚透鏡與物鏡 ,
而匯聚物鏡則主在于電子槍下面,而這則主要用于把
電子槍所發(fā)射出的電子匯聚成光束。
而這里所說的物鏡則主要位于真空柱的最下面,主要
是負(fù)責(zé)將電子光束的焦點匯聚于樣品標(biāo)本表面,成像
系統(tǒng)則是由各種電子探測器組成的。