掃描電子顯微鏡就是一種可以利用入射的電子光束
進(jìn)行在樣品標(biāo)本表面上逐點(diǎn)進(jìn)行掃描的一種電子信
息成像的技術(shù)。
因此我們說(shuō)掃描顯微鏡則主要是由真空系統(tǒng),電子
束系統(tǒng)與成像系統(tǒng)組合而成的一個(gè)機(jī)械構(gòu)件組合。
而對(duì)于真空系統(tǒng)則是由真空泵與真空柱兩部分組成
的,如果說(shuō)真空柱是一種內(nèi)部無(wú)空氣但同時(shí)還充以
氮?dú)獾臍怏w的構(gòu)造部件。
而在這里我們所說(shuō)的成像系統(tǒng)則是由各種各樣的電
子探測(cè)器組合而成,這樣在發(fā)射出的電子匯聚于電
子束的表面焦點(diǎn)樣品的表面上。