如何利用晶體在電子束下通道效應(yīng)
如果我們利用晶體在電子束下通道的效應(yīng),可以選擇
區(qū)電子衍射,進(jìn)行微區(qū)空間結(jié)構(gòu)的分析。
目前情況下電子選擇區(qū)域范圍可以小到二微米,如果
采用場致發(fā)射電子槍,則可以進(jìn)一步縮小到一百。
這樣就使得掃描電子
顯微鏡在觀察物體表面時(shí),成為
能夠進(jìn)行微區(qū)成分分析,同時(shí)還能夠進(jìn)行空間結(jié)構(gòu)分
析的全面儀器。
而同時(shí)從掃描電子顯微鏡中可以得到各種各樣表征樣
品標(biāo)本表面特征的圖像,而最近幾年發(fā)展到了透射掃
描電子顯微鏡。