電子顯微方法的分類與基本原理達到約0.5μm
電子顯微方法(electron microscopy)
電子顯微方法的分類與基本原理自從
光學顯微鏡問世以來,人
們認識世界的能力有了質的飛躍,在微觀世界里我們更加精確地了
解了物質的本質。但是由于可見光波長的限制,我們利用光學顯微
鏡的分辨極限只可達到約0.5 μm級別,再往下就因為光的衍射而
無法分辨了。為了提高顯微鏡的分辨率,人們很容易想到利用波長
更短的射線束來代替光束。這樣,電子顯微鏡就出現(xiàn)了。
電子顯微鏡可以分為兩大類:透射電子顯微鏡(transmission
electronmicroscope,TEM)和掃描電子顯微鏡(scanning electron
microscope,SEM)。透射電子顯微鏡是利用高能電子束來代替光
束,使之穿透薄層樣品,根據(jù)樣品不同部位電子穿透能力的不同或
穿過晶體時衍射圖樣的不同,經(jīng)過電磁透鏡放大后在熒光屏上成像
�,F(xiàn)代的TEM技術使得人們認識微觀世界的本領大大提高了,它可
以提供高達0.3 nm左右的分辨率,并可以工作在SEM模式或掃描透
射電子顯微鏡(STEM)模式。掃描電子顯微鏡是利用一束電子聚焦在
樣品表面并作掃描,探測其激發(fā)出的二次電子,然后利用二次電子
來調制一個與掃描電子束作同步掃描的顯示器,在顯示器上顯現(xiàn)出
樣品的相應圖像。目前SEM的分辨率已經(jīng)可以達到幾個納米了。