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高精拋光或鏡面加工表面光學精細表面粗糙度分析顯微鏡

信息分類：生命科學小百科　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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高精拋光或鏡面加工表面光學精細表面粗糙度分析顯微鏡


  高精拋光或鏡面加工表面，在用觸針式測量儀測量其粗糙度時
，所遇的問題恰恰是在高的靈敏度方面，表面的輪廓圖形被觸針
的抖動、振動以及外界的鑒別所歪曲，儀器的最小讀數(shù)也是一個
對測量的限制因素，當所測表面的粗糙度值接近儀器最小數(shù)值時
，基準表面 特征的影響變成主要因素，工業(yè)用儀器所提供的信
息大多數(shù)是測量表面微不平度的高度，對于鏡面精加工表面，這
種測量不能充分實現(xiàn)對其粗糙度進行實際的恰如其份的評定。

  當使用光學方法時，局部散射和總體反射的區(qū)別也需考慮，而
任何非傳統(tǒng)的粗糙度測量方法應(yīng)該以參數(shù)形式給出測量結(jié)果，該
參數(shù)要符合公認的ISO粗糙度術(shù)語，一個光學和數(shù)字方法的聯(lián)合
裝置已被研制出來，用非接觸的光學數(shù)字方法給出的結(jié)果令人滿
意，全面的，而且符合ISO術(shù)語，因而非常精細表面粗糙度的實
際比對成為可能。

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