掃描電鏡的分辨率與透射電鏡相比較要低一些
眾所周知,掃描電鏡的分辨率與透射電鏡相比較.固然要低一些。
但是,從它拍攝到的顯微照片來(lái)看,常富有立體感。這在研究某些
腐蝕處理樣品表面和具有多棱角、多氣孔特征的顯微結(jié)構(gòu)時(shí),
尤有它的優(yōu)點(diǎn)。值得指出,目前有許多掃描電鏡常常有多種其他功能.
如作微區(qū)元素定性或半定量分析的探針能譜儀,或者附有電子探針
可配合掃描二次電子象,拍攝相應(yīng)區(qū)域內(nèi)的背散射電子象。
或通過(guò)波譜儀作探針線(xiàn)掃描,從某元素的特性?huà)呙枨(xiàn)上探知
該元素在不同微區(qū)內(nèi)的含量高低。如果配以標(biāo)樣比較分析.
還可以取得元素的定量分析結(jié)果,從而給出顯微結(jié)構(gòu)中
某種物相在特征部位上的重要數(shù)據(jù)。