工件表面的宏觀輪廓有幾何形狀誤差的表面無法測量
信息分類：生命科學(xué)資訊 作者:YIYI發(fā)布
和工件表面的宏觀輪廓有幾何形狀誤差的表面無法測量
導(dǎo)頭半徑：一般希望導(dǎo)頭曲率中心運動的軌跡應(yīng)和工件表面的宏觀輪廓相一致，這在光
潔度粗距足夠小時是可以達到的。若粗距增大或?qū)ь^半徑過小，則導(dǎo)頭將隨著粗糙度的起伏
而上下運動，給測量帶來誤差。特別是在目前的結(jié)構(gòu)中觸針和導(dǎo)頭與工件的接觸點之間具有
一定距離(3 mm左右)，更造成相位上的誤差。若導(dǎo)頭半徑過大，一方面在結(jié)構(gòu)上不易保證
它和被測平面平行貼合，另外也可能把宏觀幾何形狀誤差引入測量結(jié)果。實踐表明，導(dǎo)頭半
徑在R 25 mm左右時，對V9以上表面具有良好的效果，也就是說使用導(dǎo)頭與不使用導(dǎo)頭(讓
傳感器與驅(qū)動箱中的滑架剛性固定，沿直線導(dǎo)軌運動)，其測量結(jié)果相近�？紤]到宏觀輪廓可
能使傳感器的工作進入非線性區(qū)，同時為了減小周圍振動對測量結(jié)果的影響，還是以使用導(dǎo)
頭為好。在測量具有較大粗距的較粗糙表面時，上述相位誤差比較顯著。若不使用導(dǎo)頭，對
具有幾何形狀誤差的表面無法測量。對于這種情況，我們另：用了近距離并列式旁向?qū)ь^
(使導(dǎo)頭與觸針并列，相距0．05一0．1 mm)做過試驗，取得了良好效果。
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