目的
加熱的目的是檢查在試件中是否有因暴露在高溫下而發(fā)
生變化的情況。
偏壓的選擇方法因試件不同而異,如果將接合部的反偏
壓選為其額定破壞電壓的約75%,這對查明污染的氧化物帶
來的問題最為合適。
在將試件開封之后,再次進行加熱(在附加偏壓或不加
偏壓的狀態(tài)下)。其程序可仿照上述程度,但是,要注意不要
使外部的污染進入試件內(nèi)部。用于各種用途的恒溫箱的內(nèi)部,
如果不進行定期清掃特別容易受污染。
利用真空恒溫箱的真空加熱能有效地去除污染。特別是
滲透在試件局部(尤其是試件內(nèi)部)的污染,.只是加熱到高
溫是清除不掉的,而利用真空則可除掉。