表面的顯微結(jié)構(gòu)
測量儀器-粗糙度測量
顯微鏡
現(xiàn)已能使血象與物體很好地巫合,此時(shí)物體可能在應(yīng)力作用
下發(fā)生變形,或物體在釋放應(yīng)力后發(fā)生了流動(dòng)、爬行、縮小或膨
脹,結(jié)果使從一個(gè)觀察點(diǎn)到位移表而任一點(diǎn)的
光學(xué)距離相對于它
到比較面(虛象面)上相應(yīng)點(diǎn)的距離發(fā)生變化。表面上各點(diǎn)到照
明N表面的光源的距離也發(fā)生變化,因此從相同但發(fā)生了位移的
表面面積(具有相同顯微結(jié)構(gòu)的而積)漫射的相干光線,在從光
源到達(dá)觀察面時(shí),產(chǎn)生了相對的位相移動(dòng)。這一位相移動(dòng)的結(jié)果使
波振幅相加或相減,產(chǎn)生了可見的干涉條紋。這些條紋圖形表征
了物體表面的形變。當(dāng)物體表面發(fā)生變化時(shí)可以同時(shí)看到干涉圖
形的變化,因此得到實(shí)時(shí)全息干涉的名稱。很明顯,應(yīng)力引起的
形變不能明顯地改變表面的顯微結(jié)構(gòu)。由于粗糙為表面是一個(gè)隨
機(jī)的散射體,因此表面粗糙度的任何顯著的改變都可使物體反射
的光波增加一個(gè)隨機(jī)的位相分布。物波和再現(xiàn)的物波將形成一高
空間頻率的干涉圖形,不能再用我們有興趣的低空間頻率的表面
變形來說明。