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各種儀器的測量方法及儀器的分類

信息分類:顯微鏡資訊  日期: 2021-1-26 10:29:14

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各種儀器的測量方法一般分為絕對測量法和相對測量兩種。
被測工件的尺寸(參數(shù))直接由儀器讀數(shù)裝置讀出的稱之絕對測量。這些儀器稱之為絕對測量儀。例如光波比長儀,萬能工具顯微鏡,分厘卡等。這些量儀、量具是利用裝置內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)器-光波波長、標(biāo)尺、精密絲桿來對比被測工件,再由一套測微器讀出其小數(shù)。
被測工件的尺寸在儀器上讀出的只是與基準(zhǔn)量塊尺寸的差值,這種測量稱為相對測量也可稱為比較測量。這些進(jìn)行的比較測量的各種儀器一般稱為比較測量儀。使用這種測量方法必須將儀器所讀出的差值加上所比較的基準(zhǔn)量具尺寸,才是工件的整個尺寸。例如各種光學(xué)計、接觸式干涉儀等均屬比較量儀,所以光學(xué)計也有稱為光學(xué)比較儀的。
各種測長機(jī)是絕對測量和比較測量兼用的儀器;它利用儀器上的光學(xué)計管來進(jìn)行比較測量,也可以在全量程內(nèi)直接讀出被測工件的整個尺寸。所有絕對量儀也可以在作比較測量。利用合宜的附加裝置及量具進(jìn)行比較測量能提交計量工作效率和儀器的測量精度。所有比較儀在測量工件長度小于該儀器的讀數(shù)范圍時,也可作為絕對測量。
光學(xué)計的種類,以被測工件安放形式和儀器結(jié)構(gòu)布置上的不同分為立式光學(xué)計和臥式光學(xué)計,以讀數(shù)觀察方式的不同分為目視式、投影式、數(shù)字式光學(xué)計;以測量精度不同分為光學(xué)計和超級光學(xué)計。
JD3光學(xué)計是投影式光學(xué)計,格值為1微米,屬一般精度級的光學(xué)計。超級光學(xué)計的格值是0.1微米及0.2微米。
接觸式干涉儀的種類,也有立式與臥式,目視式與投影式之分,是格值在0.05~0.2微米范圍內(nèi)可以調(diào)節(jié)的精密量儀。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠,轉(zhuǎn)載請注明