不論是試片的處理還是試片的觀察都需要儀器的輔助，因此故障分析的首要工作就是要了解這些分析儀器的原理、性能或者操作方式。了解原理是為了知道在什么樣的狀況下該選擇什么樣的分析工具，了解性能是為了清楚機臺的極限，判斷機臺的分析結果反映著什么樣的事實、呈現什么樣的證據，而熟悉操作方式與操作技巧則是讓儀器機臺發(fā)揮最大的效益與用途。接續(xù)的三章即是介紹故障分析及材料分析最常用的機臺，詳細解說這些機臺的原理與功能，一般來說，只要善用這些最常用的機臺，百分之八十的案件皆可迎刃而解，皆可清楚的觀察到故障的現象。

故障分析的最終目的即是觀察到故障的現象，以供fab內做判斷可能是哪一站造成的問題，并進而擬定實驗或直接做改善措施，這些觀察的工具包含各種的顯微鏡，本章便是介紹這類的工具，以方便使用者決定在什么情況下該使用哪一種的顯微鏡，并了解儀器的性能與極限，如此分析者才有能力向客戶解說照片的意義。