激光測量系統(tǒng)通常包括:
1)激光頭。
2)干涉儀及其相關(guān)反射鏡。
3)測量接收器和測量與控制電路。
某些測量不能直接將干涉儀輸人光圈對準(zhǔn)激光頭。因此,這類系統(tǒng)還將包括
各種光束定向光學(xué)部件。此外,系統(tǒng)還可能包括環(huán)境遙感和/或波長跟蹤,來進(jìn)
一步測量補(bǔ)償由于環(huán)境參數(shù)變化隨之而來的激光波長的變化。激光器的激光頭用
做光束和參考頻率源。光學(xué)儀器和測量接收機(jī)使用激光束產(chǎn)生的測量信號。參考
和測量信號與環(huán)境傳感器信號一起測盤電路產(chǎn)生的線位移信息。系統(tǒng)控制器可以
讀取和顯示此位移信息。此外,測量電路輸出實(shí)時(shí)信號表示一個(gè)目標(biāo)和實(shí)際位置
之間的差。此誤差信號可使伺服電子系統(tǒng)直接驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī)。激光測量系統(tǒng)示
從參考和測量接收器產(chǎn)生的均衡信號通過測量和控制卡獲得。卡的一個(gè)功能
就是通過讀取和適當(dāng)調(diào)節(jié)共模信號來減少外部噪聲。另外,可進(jìn)行信號插值來提
高分辨率。測量和控制卡一般包括波長補(bǔ)償功能。激光測量系統(tǒng)的精度受到相關(guān)
環(huán)境參數(shù)變化的影響,如環(huán)境溫度、壓力和相對濕度變化。因?yàn)榧す獾牟ㄩL是測
最長度的標(biāo)準(zhǔn),對這些特征參數(shù)敏感。波長偏差可以根據(jù)各種環(huán)境傳感器的測量
估算,然后得到手動(dòng)或自動(dòng)的補(bǔ)償。