金屬膜厚度測量用便攜式金相顯微鏡
信息分類：生命科學(xué)資訊 作者:YIYI發(fā)布
在薄層淀積前后，稱量襯底，如知道面積與密度便可計算出平
均厚度.對于外延層，能十分精確地知道密度，但由于難于完全
阻止在背面上的生長(很定襯底是放在某種加熱器上)，就很難知
道面積.相反，對于用真空技術(shù)沉積的金屬膜則不可能精確地知
道密度，但一般面積是可確切地知道的.在淀積時，連續(xù)稱量切片
重量(更適于熱墻方法，在此方法中切片是懸掛著的，同時能在兩
面淀積)可測出膜厚隨時間的變化.
盡管這種方法的原理十分簡單，但它存在著若千相當(dāng)嚴(yán)重的
.缺點.例如:(1)它只能提供一個平均值;(2)它要求所有的切片從
第一次稱重經(jīng)過沉積到最后一次稱重都能保持它們的同一性(在
大量生產(chǎn)中這是十分困難的);(3)它需要控制或測量薄膜的面積;
(4)對于在厚襯底上的非常薄的層，要求一個儀器同時具有所需的
靈敏度和大的側(cè)量范圍將是很困難的;(5)如果把這個方法用于外
延層測厚，就不能使用在沉積前就地腐蝕的襯底.
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