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微器件（毫米以下納米以上）的尺寸,微裝配輔助顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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微器件（毫米以下納米以上）的尺寸,微裝配輔助顯微鏡

    微器件（毫米以下納米以上）的尺寸效應(yīng)，給微裝配帶來以下的
困難：

    （1 ）由于器件的尺寸減小，重力的影響下降，靜電力，范德化
力和表而張力占統(tǒng)治地位。特別是表面張力，當(dāng)操作手爪接近微器件
還未與之接觸時，該力使微器件跳起并吸附在手爪上，而當(dāng)手爪釋放
器件時，該力使器件不能釋放，從而破壞了微裝配的定位精度。

    （2 ）由于微器件的重力影響下降，微裝配時不能形成有效的力
反饋，從而在裝配時很容易換壞易碎的微器件。

    （3 ）由于微器件的尺寸很小，它的制造誤差也更小，通常是亞
微米或納米級的，這就給裝配時的定位精度提出了很高的要求。

    為了克服上面的困難，微裝配一般采用顯微視覺對操作機(jī)械手進(jìn)
行閉環(huán)控制。機(jī)械手的末端執(zhí)行器上裝有微力傳感器構(gòu)成力的反饋。
在待裝配器件沒有接觸時，利用視覺進(jìn)行引導(dǎo)，而當(dāng)器件接觸時，采
用力反饋控制精密裝配。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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