衍襯成像理論要解決的問題,就是計算電子束穿過試樣后在下表面處電
子束的振幅分布并由此計算出強度分布,也就是電子顯微圖像的襯度。電子
束穿過試樣的過程,是電子與試樣中物質(zhì)原子發(fā)生交互作用的復雜過程�!み@
涉及許多因素,這些因素有些是屬于運動電子束源的,有些是屬于試樣中物質(zhì)
原子或其他粒子的性質(zhì)和試樣材料的結(jié)構(gòu)的。在建立衍襯成像理論時,如何
正確對待這些因素,分清主次,權(quán)重它們在成像過程中的作用,是十分重要的
問題。成像理論建立的過程,反映了人們對客觀事物的認識由粗到精、由偏到
全的過程。