1.表面影像量測
2.表面輪廓粗糙度量測
3.動(dòng)態(tài)表面輪廓
SPM技術(shù)可以用于其他的相關(guān)應(yīng)用
1.原子操控術(shù):原子提取, 移動(dòng),放置等操控, 可應(yīng)用于原子等級(jí)的加工
2.奈米加工:像是奈米蝕刻與雕刻, 奈米硬度測試
3.動(dòng)態(tài)觀測:如結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)或化學(xué)動(dòng)態(tài)觀測
眼觀測是透過光線在物體的反射而觀測, 大約解析程度在10-4m(0.1mm)左右
光學(xué)顯微鏡以可見光為介質(zhì), 受到波長較長的限制, 光學(xué)顯微鏡放大倍率最高只有約1500倍(10-7m)
電子顯微鏡為電子束為介質(zhì),由于電子束波長遠(yuǎn)較可見光小,故電子顯微鏡解析度遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。掃描式顯微鏡可放大到10000倍以上。
納米檢測目前最常用的兩大類包括:
1.電子顯微鏡(EM)
一般常用的包括掃描式電子顯微鏡(SEM)與穿透式電子顯微鏡(TEM)及歐杰電子顯微鏡(表面分析)
2.探針掃描式顯微鏡(SPM)
其中應(yīng)用較多的為量測探針與材料間原子力的原子力顯微鏡(AFM)及偵測穿隧電流的掃描穿隧顯微鏡(STM)
1.以掃描的電子束打到試片后,偵測二次電子或背向電子的, 稱為掃描式電子顯微鏡SEM, 當(dāng)物體面較高的, 二次電子較多, 較低處二次電子較少,
故形成黑白的影像
2以電子束打到試片后,偵測材料的特性X光的波長(WDS成分分析)或能量(EDS成分分析)
4.以電子束打到試片后,偵測穿透電子的數(shù)量形成黑白影像或偵測X光繞射(EDP)
掃描探針顯微鏡(SPM)是利用一根極微細(xì)的探針(微探針),在極靠近試片表面處對試片掃描, 再偵測探針與試片間的物理特性(如原子力, 穿隧電流, 磁力…)
較常用的掃描探針顯微鏡如:
1.原子力顯微鏡
2.掃描穿隧顯微鏡