光學(xué)顯微鏡的極限分辨率在很多場合受到限制,在微電子學(xué)尤為明顯。微小
的電子器件需要了解更精細(xì)的細(xì)節(jié),有時(shí)就只有采用比光學(xué)顯微鏡分辨率更好。
的電子顯微鏡。透射式電子顯微鏡(TEM) 首光用于生物學(xué),后來又逐漸用用
冶金以及其它領(lǐng)域,
透射式電子顯微鏡是一種很有用的儀器,具有兩種通用特性: 一是在高放大
倍數(shù)下具有好的分辨率; 另一是能產(chǎn)生電子衍射,這種電子衍射能像識(shí)別
元件一
樣,觀察研究晶體材料。這兩種特性在環(huán)境控制研究方而都是很重要的。
透射式電子顯微鏡
其放大倍數(shù)可達(dá)500 -100000 x 左右,并具有低至5 埃的極限分辨率。除高
分辨率外,這種顯微鏡還具有很大的景深。在光學(xué)顯微鏡中大的景深取決于小的
孔徑數(shù),而分辨率卻與波長成反比。
在透射式電子顯微鏡中,將很薄的樣品放在樣品臺(tái)上,電子束經(jīng)過聚光透鏡
會(huì)聚其上,一部分電子穿過樣品,有的被吸收,有的則衍射至顯微鏡光軸外,那
些穿過樣品的電子將在物鏡的后焦平面上成像。