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被測(cè)工件尺寸電容測(cè)微儀-機(jī)械加工件分析顯微鏡

信息分類(lèi)：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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被測(cè)工件尺寸電容測(cè)微儀-機(jī)械加工件分析顯微鏡

    電容測(cè)微儀工作原理是通過(guò)電容傳感器，將被測(cè)工件尺寸的變化轉(zhuǎn)換成電容量的變化，
然后通過(guò)一定的測(cè)量電路，將電容量的變化變成電信號(hào)，從而進(jìn)行工件尺寸的測(cè)量。
    電橋式電容測(cè)微儀是最常見(jiàn)的電容測(cè)微儀。但在機(jī)械制造業(yè)量?jī)x中，使用的廣泛性卻還
遠(yuǎn)不如電感式測(cè)微儀。這是由于：

    (1)電容傳感器的容量不易做得很大，通常只幾個(gè)pF。線路的引線電容、分布電容、
雜散電容等，特別是這些電容的變化，都可能影響儀器的精度。對(duì)電纜線的選擇、安裝、接
法都有嚴(yán)格的要求，儀器的分布電容必須小而穩(wěn)定，否則不能保證高的測(cè)量精度。
    (2)在音頻范圍內(nèi)，電容傳感器的阻抗很高，輸出功率小，抗干擾性能差。采用高頻
供電，放大器設(shè)計(jì)比較復(fù)雜，也不易保證十分穩(wěn)定。電容測(cè)微儀必須采取妥善屏蔽措施，并
對(duì)環(huán)境條件提出較惡格要求。
    (3)為使傳感器有較大電容，傳感器極片或極筒之間的氣隙必須盡可能小，測(cè)桿的運(yùn)
動(dòng)精度也要求很高，這都給加工和裝配工藝帶來(lái)很大困難。
    但是，電容傳感器也有它獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，即：
    (1)它沒(méi)有電感傳感器那樣的磁性材料，因而也就不存在難以控制的磁路非線性、磁
滯損耗、渦流損耗等問(wèn)題，不會(huì)產(chǎn)生由上述等問(wèn)題引起的零點(diǎn)殘余電壓。電容傳感器的零點(diǎn)
殘余電壓主要由介質(zhì)損耗而引起，它的值比較小，這就允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具
有很高的靈敏度；
    (2)電容傳感器中測(cè)桿不受電磁吸力的作用，測(cè)桿運(yùn)動(dòng)過(guò)程中作功小，它所需測(cè)量力
小，動(dòng)態(tài)性能好；
    (3)電容傳感器可以用較高頻率供電，加之動(dòng)態(tài)性能好，使它可用于測(cè)量高速變化參
數(shù)，如測(cè)量振動(dòng)。此外還可用于測(cè)量帶磁的工件，
    (4)電容傳感器主要都是機(jī)械加工件，只要保證高f向機(jī)械加工和裝配精度，就可以達(dá)
到較高精度。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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