相位檢測顯微鏡(PDM)也指相位圖像術,是用于測量機械的 和化學的表面性質(zhì),例如,彈性、貓性、摩擦力或貓彈性的
一種技術。
當儀器在任何振動懸臂模式中操作時,可產(chǎn)生相位感測成像
例如,非接觸式原子力顯微鏡、間斷接觸式原子力顯微鏡或
磁力顯微鏡模式。應用力調(diào)制顯微鏡(FMM)可采集相位
檢測信息.相位檢測指的是對驅(qū)動懸臂振動的信號與懸臂振動輸
出信號之間的相位延遲的監(jiān)視。相位延遲的變化反映了樣品表面
機械特性的變化。
常見的系統(tǒng)反饋回路的操作方式是,利用懸臂偏轉(zhuǎn)或振動的
變化來測量樣品的外形。
當外形圖像成像時,監(jiān)測相位延遲,以至外形圖像和原材料特性可同時
被采集。相位檢測的一個應用是可獲得樣品材料特性的信息,
這些樣品的外形測量用間斷接觸式原子力顯微鏡比用接觸式
原子力顯微鏡效果更好