投影儀測(cè)量誤差分析
光學(xué)式投影儀具有較高的測(cè)量精度,其測(cè)量示值誤差可為((3+L/100)μm,
其中L為被測(cè)量長(zhǎng)度(單位:mm)。
在透射光照明下,調(diào)焦正確的情況下輪廓測(cè)量誤差可小于0.08 %。除這些的誤差之外,
主要存在以下方面的誤差:
(1)投影儀系統(tǒng)設(shè)備本身的誤差投影儀在制造安裝過(guò)程中產(chǎn)生的誤差,
包括導(dǎo)軌直線度、絲杠、刻度尺制造等引起的誤差,以及在使用
過(guò)程中的調(diào)整安裝誤差。
(2)溫度變化而引起的誤差
(3)對(duì)焦、壓線誤差在測(cè)量前未能正確地進(jìn)行調(diào)焦,造成投影影像
不夠清晰,不能正確地壓線采集數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差。
(4)人為粗心大意誤差